Жартылай өткізгіш зертханаларына арналған майсыз ауа компрессоры

Дәл ғылыми-зерттеу қондырғылары үшін сенімді инженерлік желілерді құру, Қытайдағы жартылай өткізгіш зертханаларына арналған мұнайсыз ауа компрессорының жеткізушілерінен. DECHUAN компаниясының жоғары таза ауа ерітінділері көмірсутектерді жою үшін көп қабатты көміртекті оқшаулау тығыздағыштарын пайдаланады, бұл кремнийді сыни өңдеу үшін таза газ сапасын қамтамасыз етеді.

Таза бөлмедегі газдың тазалығына қойылатын маңызды талаптар

Жартылай өткізгішті өндіруде және жұқа қабықшалы литографияда ауа желісі арқылы тасымалданатын мұнай буының бір ғана микроскопиялық тамшысы бүкіл өндіріс партиясын бұзуы мүмкін. Бұл мамандандырылған өнім абсолютті ең жоғары тазалық стандарттарына жауап беру үшін жасалған:

• TÜV сертификатталған 0 класты әуе жеткізілімі: Біздің жүйелер айнымалы жұмыс температуралары бойынша қатаң сынақтан өтеді. Тәуелсіз талдау шығыс ауа ағынында мұнайдың мүлдем нөлдік іздері бар екенін растайды.

• Коррозиясыз ішкі ауа жолдары: құбырлардың әрбір бөлігі, салқындатқыш байламы және сығымдау камерасының төменгі жағындағы бөлу матрицасы тот түйіршіктерінің таза бөлмедегі ауа желілерін ластамауы үшін жоғары сапалы баспайтын болаттан жасалған.

• Жетілдірілген Elektronikon® интеграциясы: Біріктірілген контроллер операциялық көрсеткіштерді мұқият қадағалайды және зертханалық торға ешқашан таза ауа кірмейтінін қамтамасыз ету үшін алдын ала қауіпсіздікті өшіреді.

Электроникадағы микроконтаминацияның жоғары құны

Жартылай өткізгішті пластина өндірісінде май аэрозольінің бір тамшысы бүкіл таза бөлме ортасын ластап, мыңдаған кремний пластинкаларын бұзып, миллиондаған өндіріс уақытын жоғалтуы мүмкін. Дәстүрлі ауа компрессорлары осы нанометрлік масштабтағы процестерге қажетті абсолютті нөлдік көмірсутек тазалығына кепілдік бере алмайды.

Жартылай өткізгіш зертханаларына арналған арнайы майсыз ауа компрессоры таза технологиялық қауіпсіздікке кепілдік береді:

• Сертификатталған КЛАСС 0 Ауа ағыны: майдың абсолютті нөлдік болуын қамтамасыз ету үшін TÜV қатаң термиялық және қысым диапазонында сыналған.

• Бөлшектері жоқ ішкі бөліктер: тот баспайтын болаттан жасалған алдын ала салқындатқыштар мен жұлдызды жылу алмастырғыштар ауа жолындағы тотығу қабыршақтарын немесе химиялық төгілуді жояды.

• Электрондық бақылау қалқаны: алдын ала техникалық қызмет көрсету дабылдары және ақауларды автоматты түрде өшіру жүйенің ауытқуларын таза бөлме құралдарына жетпей тұрып болдырмайды.

Техникалық тазалық параметрлері

• Жүйе қуатының рейтингі: 55kw - 900kw жоғары тығыздық конфигурациялары.

• Көлемді жеткізу жылдамдығы: 4,2 - 148,5 м³/мин таза ағын шығару.

• Май мазмұнының классификациясы: ISO 8573-1 0 класы толығымен майсыз валидация.

• Салқындату схемасы: химиялық газдың шығуын болдырмайтын тот баспайтын болаттан жасалған сұйықтықты салқындату.

Құрылғының өнімділік анықтамалық шарттары ISO 1217 4-ші басылымына (2009) С қосымшасына сәйкес өлшенген:

· Салыстырмалы ылғалдылық: 0%

· Абсолютті кіріс қысымы: 1 бар

· Кіру температурасы: 20°C разряд жылдамдығы (FAD) келесі жұмыс қысымдарында өлшенді:

Тұрақты жылдамдық түрі:

·  -7,5 бар түрі: 7 бар

· -8,6 бар түрі: 7 бар

· -10 бар түрі: 9 бар

VSD түрі:

· -8,6 бар түрі: 7 бар

· -10,4 бар түрі: 9 бар

· (2) Жұмыс станциясының А сыныбының өлшенген эмиссиялық дыбыс қысымының деңгейі (LpWSAd). ISO 2151:2004 стандартына сәйкес өлшенген (150 9614/2 дыбыс қарқындылығын сканерлеу әдісімен). Жаңадан қосылған түзету коэффициенті сынақ кодына сәйкес толық белгісіз мән (KpAd) болып табылады.

· (3) Салмағы тек анықтама үшін берілген; нақты берілген салмақ басым болады.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

ISO 1217 C қосымшасының 4-ші басылымына (2009) сәйкес құрылғы өнімділігінің анықтамалық шарттары төмендегідей:

· Салыстырмалы ылғалдылық: 0%

· Абсолютті кіріс қысымы: 1 бар

· Кіру температурасы: 20°C

Жылжыту FAD келесі жұмыс қысымында өлшенеді:

Тұрақты жылдамдық үлгілері:

-7,5 бар үлгілері: 7 бар

-8,6 бар үлгілері: 7 бар

-10 бар үлгілері: 9 бар

VSD модельдері:

-8,6 бар үлгілері: 7 бар

-10,4 бар үлгілері: 9 бар

(2) Жұмыс станциясының А сыныбының өлшенген эмиссиялық дыбыс қысымының деңгейі (LpWSAd). ISO 2151:2004 (ISO 9614/2 дыбыс қарқындылығын сканерлеу әдісі) бойынша өлшенеді. Жаңадан қосылған KpAd түзету коэффициенті сынақ кодына сәйкес белгісіз.

(3) V1=380В, V2=400В.

(4) Салмағы тек анықтама үшін берілген; нақты салмағы басым болады.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-салыстырмалы ылғалдылық: 0%

-Абсолютті кіріс қысымы: 1бар

- Кіру температурасы: 20°℃

Шығару жылдамдығы (FAD) келесі жұмыс қысымдарында өлшенді

Тұрақты жылдамдық түрі:

-7,5 бар түрі: 7 бар

-8,6 бар түрі: 7 бар

-10 бар түрі: 9 бар

VSD түрі:

-8,6 бар түрі: 7 бар

-10,4 бар түрі: 9 бар

(2) Жұмыс станциясының А сыныбының өлшенген эмиссиялық дыбыс қысымының деңгейі (LpWSAd).

ISO 2151:2004 (150 9614/2 (дыбыс қарқындылығын сканерлеу әдісі) арқылы) бойынша өлшенген.

Жаңадан қосылған түзету коэффициенті сынақ кодына сәйкес толық белгісіз мән (KpAd) болып табылады.

(3) Салмағы тек анықтама үшін берілген; нақты берілген салмақ басым болады.

ZR 300-750

Құрылғының өнімділік анықтамалық шарттары ISO 1217 4-ші басылымына (2009) С қосымшасына сәйкес өлшенген:

· Салыстырмалы ылғалдылық: 0%

· Абсолютті кіріс қысымы: 1 бар

· Кіру температурасы: 20°C разряд жылдамдығы (FAD) келесі жұмыс қысымдарында өлшенді:

Тұрақты жылдамдық түрі:

·  -7,5 бар түрі: 7 бар

· -8,6 бар түрі: 7 бар

· -10 бар түрі: 9 бар

VSD түрі:

· -8,6 бар түрі: 7 бар

· -10,4 бар түрі: 9 бар

· (2) Жұмыс станциясының А сыныбының өлшенген эмиссиялық дыбыс қысымының деңгейі (LpWSAd). ISO 2151:2004 стандартына сәйкес өлшенген (150 9614/2 дыбыс қарқындылығын сканерлеу әдісімен). Жаңадан қосылған түзету коэффициенті сынақ кодына сәйкес толық белгісіз мән (KpAd) болып табылады.

· (3) Салмағы тек анықтама үшін берілген; нақты берілген салмақ басым болады.

ZR 200X-400X

Құрылғының өнімділік анықтамалық шарттары ISO 1217 4-ші басылымына (2009) С қосымшасына сәйкес өлшенген:

· Салыстырмалы ылғалдылық: 0%

· Абсолютті кіріс қысымы: 1 бар

· Кіру температурасы: 20°C разряд жылдамдығы (FAD) келесі жұмыс қысымдарында өлшенді:

Тұрақты жылдамдық түрі:

·  -7,5 бар түрі: 7 бар

· -8,6 бар түрі: 7 бар

· -10 бар түрі: 9 бар

VSD түрі:

· -8,6 бар түрі: 7 бар

· -10,4 бар түрі: 9 бар

· (2) Жұмыс станциясының А сыныбының өлшенген эмиссиялық дыбыс қысымының деңгейі (LpWSAd). ISO 2151:2004 стандартына сәйкес өлшенген (150 9614/2 дыбыс қарқындылығын сканерлеу әдісімен). Жаңадан қосылған түзету коэффициенті сынақ кодына сәйкес толық белгісіз мән (KpAd) болып табылады.

· (3) Салмағы тек анықтама үшін берілген; нақты берілген салмақ басым болады.

Таза бөлме зертханасының пайдаланушы жағдайын зерттеу

Азиядағы электроника өндірушісі DECHUAN компаниясының жоғары таза азот түзетін ілмектер мен пневматикалық сынақ тұтқаларын жеткізу үшін арнайы ауа жүйесін орнатты. Бұрын стандартты компрессорлар із қалдыратын май буларының ішкі сүзгілерден өтуіне, литографиялық линзаларды жабуға және вафельді жабындарда микро сынықтарды тудыруға мүмкіндік берді. Жартылай өткізгіш зертханаларына арналған майсыз ауа компрессорын орнатқаннан кейін зертхана екі жыл үздіксіз жұмыс кезінде таза бөлмені тазалау және қайта калибрлеуге кететін айтарлықтай шығындарды үнемдей отырып, маймен байланысты желідегі ластану оқиғаларының нөлдік болғанын хабарлады.

Теңшелетін құрамдастарды тігу және басқару

• Тот баспайтын болаттан жасалған материалды жаңарту: қатаң микро ластану нұсқауларын орындау үшін біз барлық стандартты ішкі құйма құрамдастарын жоғары сапалы тот баспайтын болаттан ауыстырамыз.

• Жетілдірілген байланыс протоколдары: құрылғы таза бөлмені басқару орталықтарына ауа көрсеткіштерін қашықтан бақылауға мүмкіндік беретін арнайы байланыс протоколдарымен алдын ала жүктелген.

• Ықшам құрылымдық із: Интерьердің орналасуы іздерін азайту үшін оңтайландырылған, бұл оны тығыз зертханалық жертөледегі пайдалы кеңістіктерге орнатуды жеңілдетеді.

Өнеркәсіптік сатып алушы туралы жиі қойылатын сұрақтар

С: Бұл компрессорды өте жоғары тазалықтағы (UHP) сүзу ілмектеріне тікелей қосуға болады ма?

Ж: Иә, біздің ауа шығаруымыз жетілдірілген таза бөлмедегі кептіргіш кептіргіштермен және микрон асты бөлшектерді сүзу жүйелерімен толық үйлесімді. Шикі ауада нөлдік май буы болғандықтан, пайдалану орнының мамандандырылған сүзгілері май тұманымен бітеліп қалмайды, бұл сүзгінің қызмет ету мерзімін ұзартады.

С: Z-тәрізді тығыздағыштар редуктор жинағынан майдың нөлдік ауысуын қалай қамтамасыз етеді?

A: Жартылай өткізгіш зертханаларына арналған майсыз ауа компрессорында маймен майланған тісті беріліс корпусы мен құрғақ қысу камерасы арасындағы физикалық атмосфералық желдету кеңістігі бар. Мамандандырылған жанаспайтын көміртекті сақина тығыздағыштар теріс қысымды арналармен жұптастырылған, бұл кез келген редуктор майының таза ауа ағынына кіруіне толық тосқауыл қоюды қамтамасыз етеді.

С: Ішкі температура сенсоры нормадан тыс көрсеткішті анықтаса не болады?

A: Elektronikon® контроллері маңызды деректерді секундына бірнеше рет таңдайды. Кез келген кезеңде температураның жоғарылауы анықталса, жүйе дереу автоматтандырылған өшіруді іске қосады және оқшаулау клапандарын жабады, бұл салқындатылмаған ауаның зертхананың сезімтал жабдығына ешқашан ағып кетпеуін қамтамасыз етеді.